中部東芝エンジニアリング株式会社

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事業紹介

半導体製造システムエンジニアリング

生産計画系
搬送制御系工程進捗管理系技術・品質系(データ解析系)
装置制御系

材料投入から製品払出までの製造工程

半導体製造を支えるCIMシステム群

生産計画系システム

  • 多様なお客様からの購入要求を基に、製造リードタイムを考慮し製造工程への投入指示、ブロックごとの払出し計画を立案するシステムです。

工程進捗管理系システム

  • 製造工程内の全てのロット状態を管理するシステムや、製造工程内の全てのロットに対する着工指示や搬送先を指示するシステム、製造工程内で稼働している数千台の製造装置、検査装置に対する着工計画を立案するシステムです。

装置制御系システム

  • 各種装置でロットを処理する際のレシピ情報を管理するシステムや、APC(advanced process controlの略)でプロセス制御するシステム、製造工程内の全ての装置をオンラインで制御するシステムです。

技術・品質系(データ解析系)システム

  • SPC(statistical process controlの略)で統計的プロセス制御システムや、製造工程内の全ての装置の稼働を分析するシステム、YMS(Yield Management Systemの略)でWaferごとの歩留り解析システム、製造上発生するさまざま不良を解析するシステムです。

搬送制御系システム

  • 製造工程内および製造工場間のロット移動を制御するシステムです。

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